Diamantové přesné pily jsou určené pro speciální dělení malých, delikátních nebo extrémně tvrdých materiálů. Tyto pily primárně používají tenké kotouče s kovovou matricí a diamantovým brusivem, což umožňuje přesný řez (s přesností na jednotky μm), minimální úběr materiálu při řezu a minimální deformaci (v jednotkách μm). U větších pil, které používají otáčky pře 3000 ot/min, lze použít i rozbrušovací kotouče.
Výběr kotouče závisí stejně jako u rozbrušovacích kotoučů na řezaném materiálu. Nutné je také dostatečné chlazení při řezání vhodných chladícím médiem, nejlépe s protikorozními přídavky a správné upnutí materiálu při řezu.
